工藝原理 ：
三氯氫硅尾氣中富含氫氣、氯硅烷、氯化氫氣體。氣體組份相對穩定，一旦外漏極易污染環境，同時
三氯氫硅可以空氣中的微量水反應水解是二氧化硅和鹽酸，加速閥門的損壞，影響現場裝置和人員的
安全。我公司開發的三氯氫硅尾氣回收裝置，能有效分離附加值高的氫氣，并利用氯硅烷低沸點特性，
回收氯硅烷。
多晶硅還原尾氣進入循環冷凝洗滌塔，在不同壓力條件下，經過氯硅烷氣提塔和HCI精餾塔進行系
列精餾氣提深冷后，多級氣液精餾、氣提、洗滌，實現氫氣與液態HCI分離，回收高純氫氣及液態熱HCI，
使多晶硅尾氣變廢為寶、節約資源同時降低處理過程中的能源消耗。
技術特點：
（1）原材料消耗低。
（2）氫氣回收、凈化和循環利用。