工藝原理
三氯氫硅尾氣中富含氫氣、氯硅烷、氯化氫氣體。氣體組份相對穩(wěn)定，一旦外漏極易污染環(huán)境，同時三氯氫硅可以空氣中的微量水反應水解是SiO2和鹽酸，加速閥門的損壞，影響現(xiàn)場裝置和人員的安全。我公司開發(fā)的三氯氫硅尾氣回收裝置，能有效分離附加值高的氫氣，并利用氯硅烷低沸點特性，回收氯硅烷。
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三氯氫硅尾氣中富含氫氣、氯硅烷、氯化氫氣體。氣體組份相對穩(wěn)定，一旦外漏極易污染環(huán)境，同時三氯氫硅可以空氣中的微量水反應水解是SiO2和鹽酸，加速閥門的損壞，影響現(xiàn)場裝置和人員的安全。我公司開發(fā)的三氯氫硅尾氣回收裝置，能有效分離附加值高的氫氣，并利用氯硅烷低沸點特性，回收氯硅烷。