產品咨詢：137-7170-5679
多晶硅提氫技術
多晶硅還原尾氣進入循環(huán)冷凝洗滌塔，在不同壓力條件下，經(jīng)過氯硅烷氣提塔和HCI精餾塔進行系列精餾氣提深冷后，多級氣液精餾、氣提、洗滌，實現(xiàn)氫氣與液態(tài)HCI分離，回收高純氫氣及液態(tài)熱HCI，使多晶硅尾氣變廢為寶、節(jié)約資源同時降低處理過程中的能源消耗。
■ 技術特點
· 閉環(huán)生產：氫氣直接回用于多晶硅還原工序，氯化氫返回三氯氫硅合成，氯硅烷經(jīng)分餾后重新利用，原料消耗降低30%以上。· 雜質控制難：尾氣中氮氣、甲烷等雜質難以通過吸附分離，需配套催化脫氧或化學吸收裝置進一步提純。
· 經(jīng)濟性顯著：以年產1萬噸多晶硅企業(yè)為例，尾氣回收氫氣可替代80%的外購液氫，年節(jié)約成本超2000萬元。
■ 主要性能指標
· 裝置規(guī)模：1,000～100,000 Nm3/h（視多晶硅生產線規(guī)模而定）· 純度：99%~99.9999 %
· 壓力：1.2～3.0 MPa
· 溫度：10～50℃（PSA段）
■ 流程示意圖
